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| 背入射Au/TiO2/Au肖特基结紫外探测器 | |
| 作者姓名： | 刘国华 谷学汇 李海龙 郭文滨 张歆东 |
| 作者单位： | 吉林大学集成光电子国家重点实验室;吉林大学电子科学与工程学院 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:61006013)资助 |
| 摘 要： | TiO2作为一种宽禁带(3.0~3.2 eV)半导体材料,由于具有优异的物理化学特性和独特的光电特性,在许多领域都展现出广泛的应用前景[1~3].材料的尺寸、结构和形貌能赋予材料一些特殊的性质,近年来人们致力于研究不同形貌的TiO2纳米材料,如TiO2纳米线和纳米管等[4],并将其应用在光催化[5]、太阳能电池[6]和锂离子电池[7]等领域,但关于其在紫外探测器上应用的报道很少[8~10].本文采用水热法在F∶SnO2(FTO)衬底上制备出纵向有序生长的金红石型TiO2纳米线阵列,通过光刻工艺和磁控溅射技术制备了背入射Au/TiO2/Au肖特基结紫外探测器,并测试了其光、暗电流,光响应度及量 |
| 关 键 词： | 紫外探测器 TiO2纳米线阵列 水热法 肖特基结 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |