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| 多孔硅膜微结构的透射电镜研究 | |
| 引用本文： | 李刚,钟以诚,戴道宣. 多孔硅膜微结构的透射电镜研究[J]. 物理实验, 2000, 20(7): 10-12 |
| 作者姓名： | 李刚 钟以诚 戴道宣 |
| 作者单位： | 复旦大学物理系近代物理实验室,上海,200433 |
| 摘 要： | 用透射电镜观察到由Ｓｉ（ｌｌｌ）衬底生长的多孔硅膜具有双层结构和明显的不均匀微结构，初步探讨了荧光机理与微结构的关系。 |
| 关 键 词： | 多孔硅 微结构 透射电镜 |
| 修稿时间： | 1999-09-21 |
The study of microstructure of porous silicon films with TEM |
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| Li Gang. The study of microstructure of porous silicon films with TEM[J]. Physics Experimentation, 2000, 20(7): 10-12 | |
| Authors: | Li Gang |
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| Keywords: | |
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