差分发射探针在微波等离子体中的应用 |
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引用本文: | 刘宇宏 邓新禄. 差分发射探针在微波等离子体中的应用[J]. 核聚变与等离子体物理, 1998, 18(1): 48-51 |
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作者姓名: | 刘宇宏 邓新禄 |
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作者单位: | 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 |
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摘 要: | 本文引入的差分发射探针技术,主要用于测量等主子体电势。其中主要采用了直流加热探针和反馈环控制偏压电路,使等离子体电势的直接、连续和自动指示成为可能。与比较成熟的单探针测量技术相比,本文给出的方法测量结果正确,操作简单,能自动跟踪批示。
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关 键 词: | 差分发射探针 等离子体电位 微波等离子体 |
APPLICATIONS OF DIFFERENTIAL EMISSIVE PROBE IN MICROWAVE PLASMAS |
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