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| MEMS技术应用日趋广泛 | |
| 作者姓名： | Suki |
| 摘 要： | 编者按:MEMS(Micro Electro Mechanical System),即微电子机械系统,始于上世纪50-60年代,80年代迅速发展成为一门综合性新兴学科.微电子机械系统包括微能源、微驱动器、微传感器(如声、光、热、力、电等)、微控制器和微操作器等,集成于一个微小的空间,实现一种或多种设定的功能. |
| 关 键 词： | MEMS 功能 空间 集成 微操作器 微控制器 微传感器 微驱动器 微能源 新兴学科 综合 发展 微电子机械系统 Micro Mechanical System |
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