| 基于分类数据的质量控制算法研究 |
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| 引用本文： | 韩凯,王凯波.基于分类数据的质量控制算法研究[J].运筹与管理,2010,19(6). |
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| 作者姓名： | 韩凯 王凯波 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 分类数据在企业当中常见、易获取.如何利用分类数据进行过程控制、提升质量水平是当前值得关注的课题.本文基于半导体制造背景,建立了硅片研磨过程模型,在前馈控制系统中引入分类数据,提出了一种基于分类数据的前馈控制算法,并以均方误作为指标,通过理论推导及仿真来研究其性能.结果表明,无论在理想状况下还是分类错误存在的情形下,这种控制算法都能够显著地降低参数波动,大幅提升硅片质量.
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| 关 键 词： | 统计过程控制 前馈控制算法 最小均方误差 分类数据 半导体制造 |
Process Quality Control Using Categorical Observations |
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| HAN Kai,WANG Kai-bo.Process Quality Control Using Categorical Observations[J].Operations Research and Management Science,2010,19(6). |
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| Authors: | HAN Kai WANG Kai-bo |
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