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高压台面功率晶体管的工艺分析
引用本文:
孔德平,周荣勋.高压台面功率晶体管的工艺分析[J].半导体技术,1991(6):42-44.
作者姓名:
孔德平
周荣勋
作者单位:
东南大学电子工程系,宜兴市半导体厂 210018 南京,214204 江苏
摘 要:
本文给出了高压台面功率晶体管工艺分析,不仅为器件的工艺设计提供了依据,而且明确地指出了影响器件制造成品率的主要因素。
关 键 词:
台面
功率晶体管
工艺
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