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| 皮秒激光刻蚀固体进样-电感耦合等离子体质谱法快速测定金属镀锌层厚度 | |
| 摘 要： | 采用一款自制的皮秒激光剥蚀固体进样系统(psLA),与电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)联用,提出了一种测定金属镀锌层厚度的新方法。通过实验参数优化,选择激光脉冲能量10μJ,散焦距离875μm,采集锌和镀锌层基材元素检测同位素的时间分辨图,确定剥蚀镀锌层的时间,根据厚度标准片计算单位脉冲剥蚀量,实现了金属镀锌层厚度的快速测定。结果表明,单位脉冲剥蚀量为67nm·pulse-1,厚度分辨率为0.30μm。用该方法测定了黄铜镀锌厚度标准片、热浸镀锌和电镀锌样品,测定值与认定值最大偏差为0.4μm。方法具有实际应用价值。 |
Quick Measurement of Thickness of Zinc Coating with Picosecond Laser Ablation-Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry |
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