应用等节距光栅副的直线位移测量及其光学倍频的衍射 干涉机理

光学倍频是光栅式直线位移测量工程中的一项新技术。本文从光栅的付里叶频谱、衍射斑的光扰动、衍射波的出射方向以及干涉场的光强分布等方面对应用等节距光栅副的光学倍频的机理进行了初步的理论探讨,同时也对空间域内的上述倍频进行了初步的实验研究。