| 低激励电压微波MEMS开关的理论分析和仿真 |
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| 引用本文： | 谢兴军,单红,苏伟.低激励电压微波MEMS开关的理论分析和仿真[J].太赫兹科学与电子信息学报,2003,1(4):281-283. |
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| 作者姓名： | 谢兴军 单红 苏伟 |
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| 作者单位： | 1. 中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900;重庆大学,通信工程学院,重庆,400044
2. 中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900 |
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| 摘 要： | 通过对独特的MEMS微波开关模型的理论分析,并用ConventorWare和ADS软件对其微机械结构和射频性能进行仿真,得出该开关工作在DC-4GHz时,插入损耗<1dB,在2GHz的隔离度>40dB,激励电压<5V。可知这种独特的MEMS微波开关模型利用扭转臂和杠杆的原理来达到比较低的激励电压,并且获得较高的隔离度。
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| 关 键 词： | 自动控制技术 微机械开关 仿真 激励电压 推拉结构 微波信号变换 |
| 文章编号： | 1672-2892(2003)04-0281-03 |
| 修稿时间： | 2003年8月26日 |
Theoretical Analysis and Simulation on a Low Voltage Actuated Microwave MEMS Switch |
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| XIE Xing-jun,SHAN Hong,SU Wei.Theoretical Analysis and Simulation on a Low Voltage Actuated Microwave MEMS Switch[J].Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology,2003,1(4):281-283. |
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| Authors: | XIE Xing-jun SHAN Hong SU Wei |
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| Institution: | XIE Xing-jun1,2,SHAN Hong1,SU Wei1 |
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| Abstract: | In this paper,An unique model of MEMS microwave switch has been analyzed and simulated using ConventorWare and ADS(Advanced Design System),which utilizes torsion spring and leverage for low voltage and good isolation.The switch operates in frequencies from DC to 4GHz.The insertion is lower than 1dB,The isolation as high as 40 dB at 2GHz,and actuation voltage <5V . |
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| Keywords: | autocontrol technique MEMS swith simulation actuation voltage push-pull configuration |
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