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溶胶-凝胶提拉法制备Mg_xNi_(1-x)O薄膜与表征
引用本文:何作鹏,季振国,杜娟,王玮,范镓,叶志镇.溶胶-凝胶提拉法制备Mg_xNi_(1-x)O薄膜与表征[J].半导体学报,2005(4).
作者姓名:何作鹏  季振国  杜娟  王玮  范镓  叶志镇
作者单位:浙江大学硅材料国家重点实验室 杭州310027 (何作鹏,季振国,杜娟,王玮,范镓),浙江大学硅材料国家重点实验室 杭州310027(叶志镇)
基金项目:国家重点基础研究发展规划(批准号:G200068306),国家高技术研究发展计划(批准号:2003AA3A19),浙江省分析测试基金(批准号:03103)资助项目~~
摘    要:利用溶胶凝胶提拉法在石英玻璃衬底上制备出吸收边波长位于地球表面太阳光谱日盲区(240~280nm)内的MgxNi1-xO薄膜.XPS和XRD结果显示,MgxNi1-xO在1000℃下形成具有立方结构的固溶体;紫外可见吸收谱结果表明,MgxNi1-xO吸收边随着Mg含量的变化而发生改变,当Mg含量x在0.2~0.3之间时,薄膜的吸收边波长在248~276nm范围内可调;光电响应测试结果表明,MgxNi1-xO薄膜(x=0.3)对太阳光不敏感,而对波长为254nm的紫外光具有很好的光电导特性,光照前后薄膜电阻变化率达40%,因此,我们可以认为MgxNi1-xO(x=0.2~0.3)薄膜材料有望应用于日盲区的紫外探测.

关 键 词:氧化镍  日盲  紫外探测  能带调节

Fabrication and Characterization of Mg_xNi_(1-x)O Thin Films by Sol-Gel Dip-Coating
He Zuopeng,Ji Zhenguo,Du Juan,Wang Wei,Fan Jia,and Ye Zhizhen.Fabrication and Characterization of Mg_xNi_(1-x)O Thin Films by Sol-Gel Dip-Coating[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005(4).
Authors:He Zuopeng  Ji Zhenguo  Du Juan  Wang Wei  Fan Jia  and Ye Zhizhen
Abstract:
Keywords:Mg_xNi_  1-xO films  solar-blind  UV detection  band-gap tuning
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