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| SOI材料的发展历史、应用现状与发展新趋势(上) | |
| 引用本文： | 陈猛,王一波.SOI材料的发展历史、应用现状与发展新趋势(上)[J].中国集成电路,2007,16(7):75-79. |
| 作者姓名： | 陈猛 王一波 |
| 作者单位： | 上海新傲科技有限公司 |
| 摘 要： | 1.前言2006年随着65纳米工艺的成熟,英特尔公司65纳米生产线步入大批量生产阶段。除英特尔外,美国德州仪器、韩国三星、日本东芝等世界上重要的半导体厂商的65纳米生产线也纷纷投产。45纳米处在研发阶段,如英特尔己有两座12英寸厂开始试 |
| 关 键 词： | SOI材料 发展历史 英特尔公司 纳米工艺 应用 集成电路 半导体厂商 生产阶段 |
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