| 直拉硅单晶放肩过程的有限元数值模拟与控制参数研究 |
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| 引用本文： | 张晶,刘丁,赵跃,焦尚彬.直拉硅单晶放肩过程的有限元数值模拟与控制参数研究[J].人工晶体学报,2013,42(1):58-64. |
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| 作者姓名： | 张晶 刘丁 赵跃 焦尚彬 |
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| 作者单位： | 西安理工大学自动化与信息工程学院,西安,710048 |
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| 基金项目： | 国家科技重大专项(2009ZX02011001);教育部科学技术研究重点项目资助项目(212169) |
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| 摘 要： | 放肩是直拉法生长硅单晶保持无位错生长的过程,是晶体能够顺利进入等径生长的关键.生产实践中发现,在放肩前段经常出现液流线切人晶体随之变晶的现象.本文提出了放肩前期的变晶转拉晶工艺,采用有限元数值模拟的方法计算出熔体热对流及温度分布,给出了固液界面附近熔体中的流速变化规律,解释了液流线的成因,通过仿真结果和拉晶实验结果表明该方法的有效性.
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| 关 键 词： | 直拉硅单晶 放肩 晶转 有限元数值模拟 |
Finite Element Numerical Simulation and Control Parameter of Czochralski Silicon Monocrystal during Shoulder Growth Process |
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| ZHANG Jing,LIU Ding,ZHAO Yue,JIAO Shang-bin.Finite Element Numerical Simulation and Control Parameter of Czochralski Silicon Monocrystal during Shoulder Growth Process[J].Journal of Synthetic Crystals,2013,42(1):58-64. |
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| Authors: | ZHANG Jing LIU Ding ZHAO Yue JIAO Shang-bin |
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| Institution: | (School of Automation and Information Engineering,Xi’an University of Technology,Xi’ an 710048,China) |
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| Keywords: | |
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