|
|||||
|
|
| 跷跷板式MEMS加速度计锚点与梁优化设计 | |
| 引用本文： | 任臣,杨拥军,陈鹏旭.跷跷板式MEMS加速度计锚点与梁优化设计[J].微纳电子技术,2022(4):348-355. |
| 作者姓名： | 任臣 杨拥军 陈鹏旭 |
| 摘 要： | 作为敏感外界加速度的器件,微电子机械系统(MEMS)加速度计容易受到外界应力的影响.而跷跷板式加速度计采用直梁的结构形式,其温度性能、抗冲击和过载能力都较差,在梁及其连接处会因应力集中,造成加速度计结构发生形变甚至损伤.因此为了提高跷跷板式加速度计的可靠性和温度性能,对锚点和梁进行了优化设计.首先,介绍了跷跷板式MEM... |
| 关 键 词： | 微电子机械系统(MEMS) 跷跷板式加速度计 锚点 梁 有限元分析 |