| CMP平坦化技术在LCoS显示器中的应用 |
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| 引用本文： | 代永平,耿卫东,孙钟林,王隆望.CMP平坦化技术在LCoS显示器中的应用[J].光电子技术,2003,23(1):41-45. |
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| 作者姓名： | 代永平 耿卫东 孙钟林 王隆望 |
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| 作者单位： | 1. 南开大学信息学院,天津,300071
2. 北京微电子技术研究所,北京,100076 |
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| 摘 要： | 作为一类新型LCD技术的LCoS显示屏是一种反射式液晶显示器,其镜面反射电极的平整性了整个显示器的亮度和对比度等主要显示参数。本文详细讨论了CMP技术在LCoS液晶显示器中实现平坦化的机理。
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| 关 键 词： | 硅基液晶屏 平整度 化学机械抛光 |
| 文章编号： | 1005-488X(2003)01-0041-05 |
| 修稿时间： | 2002年9月10日 |
Application of CMP Planarization in LCoS |
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| DAI Yong ping ,GENG Wei dong ,SUN Zhong lin ,WANG Long wang.Application of CMP Planarization in LCoS[J].Optoelectronic Technology,2003,23(1):41-45. |
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| Authors: | DAI Yong ping GENG Wei dong SUN Zhong lin WANG Long wang |
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| Institution: | DAI Yong ping 1,GENG Wei dong 1,SUN Zhong lin 1,WANG Long wang 2 |
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| Abstract: | LCoS panel as a kind of new LCD is a sort of liquid crystal display devices that operate in a reflective mode. And the planarization scale of the reflective mirror electrode is always modulating those key parameters of the microdisplay, such as lightness, contrast etc. In this paper, the principle on how to realize planarization in liquid crystal on silicon with CMP technology is discussed in detail. |
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| Keywords: | LCoS planarization scale CMP |
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