| 压电线性马达与纳米马达 |
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| 引用本文： | 费继承,王庆康,万永中,段智勇.压电线性马达与纳米马达[J].压电与声光,2003,25(4):295-298. |
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| 作者姓名： | 费继承 王庆康 万永中 段智勇 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,微纳米院微电子所,上海,200030 |
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| 摘 要： | 国外对压电线性马达的研究已经进行了有些年了，并已有较为成熟的应用，它利用压电陶瓷基片或薄膜、电致伸缩材料等功能部件实现驱动。主要特征是能够提供较大的横向输出力。同时。又可能实现超高精度和小位移——毫米级的位移行程和原子级的精度。一般用空载速度、最大推进力、效率及其他一些参数来表表压电线性马达。该文首先介绍几种类型的压电线性马达。包括它们的结构、运行原理和特性等。然后再介绍纳米马达，应该指出，纳米马达是压电线性马达的发展。其特点是能够实现纳米级精度的位移。国外已经在精密仪器、航天航空、自动控制、办公自动化、微型机械系统、微装配、纳米定位等领域得到了实际应用。
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| 关 键 词： | 压电线性马达 纳米马达 驱动器 |
| 文章编号： | 1004-2474(2003)04-0295-04 |
| 修稿时间： | 2002年6月24日 |
Piezoelectric Linear Motor and Nanomotor |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoelectric linear motor nanomotor actuator |
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