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| 在线表面粗糙度外差干涉仪中测量信号的自动电压控制 | |
| 引用本文： | 赵洪志,梁嵘,李达成,曹芒.在线表面粗糙度外差干涉仪中测量信号的自动电压控制[J].应用激光,1997(3). |
| 作者姓名： | 赵洪志 梁嵘 李达成 曹芒 |
| 作者单位： | 清华大学精仪系!北京，100084，清华大学精仪系!北京，100084，清华大学精仪系!北京，100084，清华大学精仪系!北京，100084 |
| 摘 要： | 光外差表面粗糙度在线干涉测量仪中，待测表面粗糙度的差异，使得从待测表面返回的测量信号在幅度上有很大的起伏，而使表面粗糙度测量结果的精度大大降低。本文着重讨论了测量信号的自动电压控制的原理及设计中的考虑，所制作的自动电压控制电路输入信号峰-峰值的动态范围1mV～5V，输出信号峰一峰值最大变化小于±10mV。结出了实验结果。 |
| 关 键 词： | 外差干涉 表面粗糙度 自动电压控制 |
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