溶胶—凝胶软石印法制备Zn2Si04：Mn图案化薄膜及其发光性能的研究

采用溶胶—凝胶法制备了Zn2Si04：Mn薄膜并结合毛细管微模板技术实现了薄膜的图案化，利用x射线衍射(XRD)，原子力显微镜，光学显微镜，发光光谱等手段对Zn2Si04：M2的结晶过程、发光性质进行了研究。XRD结果表明，溶胶—凝胶法合成的样品在800℃时已开始结晶，在l000℃时可得到纯相的Zn2Si04：Mn，这比传统的固相法的烧结温度低150℃。Zn2Si04：Mn薄膜的激发光谱在220nm和280nm之间有一个强的吸收峰，峰值位于248nm，发射光谱的最大值位于522nm，为绿光发射。从原子力显微镑照片可知组成薄膜的粒子比较均匀，其平均直径为220nm。我们获得了四种图案化宽度，分别是5，10，20，50μm。光学显微镜的结果表明，图案薄膜烧结后相对于烧结前有10％一20％的收缩。