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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
1.06μm波段大口径无规位相板制作与性能测试
作者姓名:
黄惠杰
路敦武
王润文
赵永凯
刘增水
作者单位:
中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800
基金项目:
国家 8 63惯性约束聚变领域资助课题
摘 要:
利用大面积光刻和腐蚀等工艺,研制成功了一块用于激光直接驱动约束聚变装置的1.06μm波段、口径为Φ 50μm的无规位相板。台阶几何深度实测值与理论值的相对偏差为1.24% ,该位相板可获得边缘陡直、近似平顶的焦斑光强分布。表明所采用的工艺可适用于大口径无规位相板的制作。
关 键 词:
无规位相板
靶面均匀辐照
焦斑光强分布
收稿时间:
1900-01-01;
本文献已被
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