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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
用激光散斑相关方法实时测量表面粗糙度
作者姓名:
郑月明
王策
凌德洪
作者单位:
苏州大学激光研究室(郑月明,王策),苏州大学激光研究室(凌德洪)
摘 要:
本文提出一种实时测量表面粗糙度的结构简单、光路调节方便的实验系统。用双棱镜产生的两束不同方向的平面波同时照射粗糙表面,从散射光场的相关度得到表面粗糙度。结果表明,选择较小的棱镜角和入射角,可使粗糙度的测量范围达1μm~40μm;实验结果与泰勒雪夫-5型粗糙度检查仪的测试值符合得较好。
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