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ZrO2薄膜的制备及其特性研究

引用本文：	丁铁柱,李蓉萍.ZrO2薄膜的制备及其特性研究[J].内蒙古大学学报(自然科学版),1993,24(4):388-390.

作者姓名：	丁铁柱李蓉萍

摘要：
关键词：	薄膜氧化锆氧敏特性
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