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| 螺旋波等离子体制备多种碳基薄膜原位诊断研究 | |
| 作者姓名： | 季佩宇 黄天源 陈佳丽 诸葛兰剑 吴雪梅 |
| 摘 要： | 利用自行研制的强磁场螺旋波等离子体化学气相沉积装置(HWP-CVD),通过改变等离子放电参数,实现多种碳基薄膜制备.利用朗缪尔探针、发射光谱以及质谱对Ar/CH4等离子体放电进行原位诊断;用扫描电子显微镜和拉曼光谱对碳基薄膜进行表征.结果表明:在给定参数下,等离子体放电模式均为螺旋波放电模式;在给定CH4流量下,等离子... |
| 关 键 词： | 发射光谱 质谱 碳基薄膜 螺旋波等离子体 |
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