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| 基于MEMS工艺的压电驱动的可变形反射微镜 | |
| 引用本文： | 王一,王欢,李以贵.基于MEMS工艺的压电驱动的可变形反射微镜[J].微纳电子技术,2022(1):66-73. |
| 作者姓名： | 王一 王欢 李以贵 |
| 摘 要： | 可变形反射镜作为自适应光学系统的核心部件,通过与微电子机械系统(MEMS)技术的结合向微型化、集成化的方向发展.基于压电材料的逆压电效应,设计并制备了一种压电驱动的可变形反射微镜,可通过电信号的控制实现微镜的驱动控制.设计的可变形反射微镜由硅镜片、锆钛酸铅(PZT)驱动器和玻璃基板三部分结构组成.利用有限元仿真软件对硅... |
| 关 键 词： | 微电子机械系统(MEMS) 自适应光学系统 可变形反射微镜 硅镜片 压电材料 |