| 微细电火花加工MEMS器件技术关键分析 |
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| 引用本文： | 明平关,胡洋洋,朱健. 微细电火花加工MEMS器件技术关键分析[J]. 微纳电子技术, 2005, 42(4): 157-163,194 |
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| 作者姓名： | 明平关 胡洋洋 朱健 |
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| 作者单位： | 1. 南京航空航天大学,南京,210016
2. 南京电子器件研究所,南京,210016 |
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| 摘 要： | 微细电火花加工作为一种低成本、高材料选择度的柔性非接触式加工技术,在微加工中具有独特的工艺优势。本文研究分析了利用微细电火花加工技术制造MEMS微结构、微器件的技术关键及其解决思路。
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| 关 键 词： | 微细电火花加工 微机电系统 微结构 微器件 |
| 文章编号： | 1671-4776(2005)04-0157-07 |
Analysis on Technique Keys for Fabricating MEMS Devices in Micro EDM |
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| MING Ping-mei,HU Yang-yang,ZHU Jian. Analysis on Technique Keys for Fabricating MEMS Devices in Micro EDM[J]. Micronanoelectronic Technology, 2005, 42(4): 157-163,194 |
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| Authors: | MING Ping-mei HU Yang-yang ZHU Jian |
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| Affiliation: | MING Ping-mei1,HU Yang-yang1,ZHU Jian2 |
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| Abstract: | Micro discharge machining,which has low machining cost,large material selection range,is a flexible and non-contacting technology and has especial process advantages in micromachining. Technique keys for fabricating MEMS microstructrues and microdevices in micro EDM and their solutions are studied and analyzed in this paper. |
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| Keywords: | micro EDM MEMS microstructure microdevice |
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