| 基于气流场变化的洁净室内部洁净度研究 |
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| 引用本文： | 元荣载,张小松,郑秀一.基于气流场变化的洁净室内部洁净度研究[J].洁净与空调技术,2005,4(3):1-6,11. |
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| 作者姓名： | 元荣载 张小松 郑秀一 |
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| 作者单位： | 1. 东南大学动力工程系
2. 韩国金乌工科大学 |
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| 摘 要： | 通过室内的粉尘浓度，即重视清净度的LCD制造工厂为研究场所，使用垂直层流方式的产业用洁净室（I．C．R：Industrial Clean Room）内进行现场实测与数据分析，得出结论：第一，证明现有的现场条件与洁净室的环境数据分析结果相同；第二，找出给气流变化重大影响的因素，掌握它们的特性；第三，为保持最适用的洁净室，对气流变化的预测提供基础资料。
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| 关 键 词： | 气流场 洁净室 洁净度 粉尘浓度 垂直层流方式 |
| 收稿时间： | 2005-03-14 |
| 修稿时间： | 2005-03-142005-04-25 |
A Study on the Characteristics and Control of Indoor Air Flow in the Vertical-Laminar-Airflow-Type Clean Room |
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| YUAN Rongzai,ZHANG Xiaosong,ZHENG Xiuyi.A Study on the Characteristics and Control of Indoor Air Flow in the Vertical-Laminar-Airflow-Type Clean Room[J].Contamination Control & Air-Conditioning Technology,2005,4(3):1-6,11. |
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| Authors: | YUAN Rongzai ZHANG Xiaosong ZHENG Xiuyi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Cleanroom airflow Class |
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