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用RF PECVD方法形成氮化碳薄膜

引用本文：	马丁.用RF PECVD方法形成氮化碳薄膜[J].等离子体应用技术快报,1998(10):6-7.

作者姓名：	马丁

摘要：
关键词：	射频 PECVD 薄膜非晶形氮化碳
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