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| φ200mm蓝宝石晶体生长工艺研究 | |
| 引用本文： | 于旭东,孙广年,张会选,吕进,王进学,孙亮.φ200mm蓝宝石晶体生长工艺研究[J].人工晶体学报,2006,35(1):201-205. |
| 作者姓名： | 于旭东 孙广年 张会选 吕进 王进学 孙亮 |
| 作者单位： | 浙江巨兴光学材料有限公司,衢州,324004 |
| 基金项目： | 国家科技攻关项目(浙江省科技厅2001BA321C) |
| 摘 要： | 采用单晶提拉炉成功生长出φ200mm ×180mm大尺寸Al2O3晶体.探讨了晶体生长工艺参数和晶体开裂之间的关系,并讨论了晶体中的热应力、热应变、温度梯度、提拉速度之间的关系,分析了影响晶体质量主要是晶体开裂的原因,设计出生长大尺寸Al2O3晶体的最佳工艺条件. |
| 关 键 词： | 大直径Al2O3晶体 温度梯度 晶体开裂 |
| 文章编号： | 1000-985X（2006）01-0201-05 |
| 收稿时间： | 2005-06-15 |
| 修稿时间： | 2005-06-15 |
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