| 氧等离子体对以石墨为碳源合成的CVD金刚石颗粒的影响 |
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| 引用本文： | 姚凯丽,代兵,谭小俊,杨磊,刘康,舒国阳,韩杰才,朱嘉琦. 氧等离子体对以石墨为碳源合成的CVD金刚石颗粒的影响[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(9): 1621-1625 |
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| 作者姓名： | 姚凯丽 代兵 谭小俊 杨磊 刘康 舒国阳 韩杰才 朱嘉琦 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学航天学院,哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | 国家杰出青年科学基金项目(51625201);青年科学基金项目(51702066) |
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| 摘 要： | 采用一种新型的金刚石颗粒制备方法,利用微波辅助化学气相沉积技术,向反应室内通入氢气,以固态石墨片同时作为碳源和衬底沉积金刚石颗粒。利用该方法合成的金刚石颗粒具有微米级尺寸,可用作研磨剂、抛光剂、形核剂等。但是合成的金刚石颗粒中仍含有少量的非晶碳,且合成颗粒的尺寸均匀性有待提高。为解决以上问题,本文中在反应不同阶段(初期、中期及末期)通入氧气,形成氧等离子体;研究氧等离子体对合成的金刚石颗粒形貌、尺寸、质量、纯度的影响,以及随氧等离子体添加阶段不同而产生的不同变化情况。结果表明,经氧等离子体处理的金刚石颗粒形貌略有改变,表面光滑度更好,且金刚石颗粒尺寸的一致性有所提高;经过激光粒度测试发现,金刚石颗粒的尺寸主要集中在25~29μm。添加氧等离子体有助于消除金刚石中的非晶碳,提高金刚石纯度;且在反应初期添加氧等离子体可最大程度提高金刚石颗粒质量。
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| 关 键 词： | 金刚石颗粒 石墨 微波辅助化学气相沉积 氧等离子体, |
Effect of Oxygen Plasma on CVD Diamond Particles Synthesized with Graphite as Carbon Source |
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| YAO Kai-li,DAI Bing,TAN Xiao-jun,YANG Lei,LIU Kang,SHU Guo-yang,HAN Jie-cai,ZHU Jia-qi. Effect of Oxygen Plasma on CVD Diamond Particles Synthesized with Graphite as Carbon Source[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2019, 48(9): 1621-1625 |
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| Authors: | YAO Kai-li DAI Bing TAN Xiao-jun YANG Lei LIU Kang SHU Guo-yang HAN Jie-cai ZHU Jia-qi |
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