Electrical Properties of He＋ion Implanted n-type Si 期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

按检索

Electrical Properties of He＋ion Implanted n-type Si

摘要：
关键词：	离子注入电性能 n型硅高温退火电压测量欧姆接触开启电压时间函数
本文献已被维普等数据库收录！