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| 150keV Ar离子辐照非晶态合金表面发泡和溅射形貌研究 | |
| 引用本文： | 侯明东,刘昌龙,全明秀,孙文声.150keV Ar离子辐照非晶态合金表面发泡和溅射形貌研究[J].中国物理 C,1994,18(Z1):33-38. |
| 作者姓名： | 侯明东 刘昌龙 全明秀 孙文声 |
| 作者单位： | 中国科学院近代物理研究所 兰州 730000 |
| 摘 要： | 150keV Ar离子辐照非晶态合金Fe39Ni39Mo2Si12B8、Fe40Ni40Si12B8、Fe39Ni39V2Si12B8、Fe77Cr2Si5B16和Fe78Si10B12,用扫描电子显微镜(SEM)观测研究了表面损伤形貌剂量变化的过程.低剂量时表面发泡形成.发泡随剂量增加受到溅射腐蚀,表面形成坑洞或针孔,针孔密度随剂量增加而增加,高剂量时,表面损伤以溅射为主,溅射对表面的腐蚀导致多孔粗糙的表面损伤结构建立,并且这些结构与靶材料有着密切的关系. |
| 关 键 词： | Ar离子辐照 非晶态合金 发泡 溅射 坑洞 针孔 多孔结构 |
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