|
|||||
|
|
| 在硅微尖上生长金刚石膜的研究 | |
| 引用本文： | 元光,金亿鑫,金长春,宋航,张宝林,宁永强,蒋红,周天明,李树伟.在硅微尖上生长金刚石膜的研究[J].半导体学报,1997,18(1):1-3. |
| 作者姓名： | 元光 金亿鑫 金长春 宋航 张宝林 宁永强 蒋红 周天明 李树伟 |
| 作者单位： | 中国科学院长春物理研究所 |
| 摘 要： | 利用微波等离子体方法在硅微尖阵列上生长了金刚石膜，并利用SEM和X射线衍射对金刚石膜进行了研究． |
| 关 键 词： | 硅微尖 金刚石膜 硅 生长 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《半导体学报》下载免费的PDF全文 | |