大尺寸高性能X射线双通道多层膜反射镜研制 |
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作者姓名: | 张云学 黄秋实 朱一帆 张哲 齐润泽 黄瀚丹 王玉柱 何玉梅 罗红心 祝万钱 张众 王占山 |
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作者单位: | 1. 同济大学物理科学与工程学院先进微结构材料教育部重点实验室,精密光学工程技术研究所;2. 中国科学院上海高等研究院 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(12075170,12003016,11875202); |
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摘 要: | 为满足同步辐射装置中X射线单色器的需求,在直线式磁控溅射设备上制备了W/Si和Ru/C双通道多层膜反射镜。制备的W/Si多层膜和Ru/C多层膜的周期厚度均为3 nm,平均界面宽度分别为0.30 nm和0.32 nm。在320 mm长度范围和20 mm宽度范围内,W/Si多层膜膜厚误差的均方根值分别为0.30%和0.19%,Ru/C多层膜膜厚误差的均方根值分别为0.39%和0.20%。对制备的样品进行了表面形貌测试和非镜面散射测试,对比了W/Si多层膜和Ru/C多层膜的表面和界面粗糙度大小。硬X射线反射率测试结果表明,W/Si多层膜和Ru/C多层膜在8.04 keV能量点处的一级布拉格峰测试反射率分别为63%和62%,角分辨率均为2.6%。基于以上研究,在尺寸为350 mm×60 mm的高精度Si平面镜表面镀制了W/Si和Ru/C双通道多层膜,并且其被成功应用于上海同步辐射光源线站中。
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关 键 词: | X射线光学 双通道多层膜 磁控溅射 均匀性 反射率 |
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