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超构器件的设计、制造与成像应用
引用本文:冷柏锐,陈沐谷,蔡定平.超构器件的设计、制造与成像应用[J].光学学报,2023(8):11-29.
作者姓名:冷柏锐  陈沐谷  蔡定平
作者单位:1. 香港城市大学电机工程系;2. 香港城市大学生物系统,神经科学和纳米技术中心;3. 香港城市大学太赫兹及毫米波国家重点实验室
摘    要:超构光学为平面光学器件的发展提供了新的思路与方向。超构器件由亚波长人工纳米结构组成,能在二维平面上实现对入射光的振幅、相位和偏振的操纵。研究人员已经发展了多种超构表面技术,将其用于满足各式各样的光学需求。本文首先回顾了超构器件的前沿研究与技术发展现状,介绍了超构器件的广义设计流程,并以连续宽带消色差超构透镜为例进行逐步说明,帮助读者理解;然后,展示了多种超构器件加工方法,包括直写刻蚀、图案转移刻蚀和混合图案刻蚀等,进一步讨论了超构器件在成像应用中的发展,包括偏振成像、光场成像、光学感测以及生物成像等;最后,进行了总结,并对超构器件未来的发展提出了见解与展望。

关 键 词:光学设计  超构器件  超构表面  纳米加工  光学成像
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