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基于改进Goldstein枝切法的傅里叶变换轮廓术
引用本文:游前,翁慧,赵江,李岳彬,王文峰,卢仕,彭旷.基于改进Goldstein枝切法的傅里叶变换轮廓术[J].光学学报,2023(5):78-87.
作者姓名:游前  翁慧  赵江  李岳彬  王文峰  卢仕  彭旷
作者单位:湖北大学微电子学院,铁电压电材料与器件湖北省重点实验室
基金项目:湖北省教育厅科学技术研究计划青年人才项目(Q20201006);;湖北省自然科学基金面上类青年项目(2020CFB266);
摘    要:Goldstein枝切法通过连接残差点生成枝切线以优化相位展开路径,枝切线的总长度越短,相位展开的结果越好。然而,该方法构造的枝切线无法确保总长度最短且容易闭合,造成部分区域相位未能正确展开,从而影响重构精度。因此,提出一种基于改进Goldstein枝切法的傅里叶变换轮廓术。通过构建加权二分图,将构造总长度最短的枝切线问题转化为最大权匹配问题。采用Kuhn-Munkres算法求解最大权匹配问题,得到最短的枝切线,提升重构精度。仿真和实验结果证明了所提方法的有效性。

关 键 词:傅里叶光学  三维测量  傅里叶变换轮廓术  相位展开  Goldstein枝切法  Kuhn-Munkres算法
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