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| 基于共振腔发光二极管的DBR温度特性研究 | |
| 作者姓名： | 任凯兵 李建军 崔屿峥 张振东 付聪乐 邓军 |
| 作者单位： | 北京工业大学光电子技术教育部重点实验室 |
| 基金项目： | 国家重点研发计划（2018YFA0209003）；;北京市自然科学基金（4222060）； |
| 摘 要： | 分布式布拉格反射镜（DBR）是共振腔发光二极管（RCLED）的主要组成部分，其温度特性对RCLED的性能有着重要影响。基于650 nm红光RCLED，设计出由Al0.5Ga0.5As和Al0.95Ga0.05As组成的DBR结构。首先通过AlxGa1-xAs材料折射率的色散关系分析温度对AlxGa1-xAs材料折射率的影响，进而模拟了DBR反射谱的温度特性，得到随着温度升高DBR反射谱红移的结论，温漂速率为0.048982 nm/℃。通过MOCVD制备出30对Al0.5Ga0.5As和Al0.95Ga0.05As组成的DBR外延结构，并对其进行反射谱测试，发现随着温度升高反射谱出现了红移现象，温漂速率为0.049277 nm/℃，与模拟结果相近，验证了温度升高导致反射谱红移结论的正确性。 |
| 关 键 词： | 共振腔发光二极管 分布式布拉格反射镜 温度 色散关系 外延 |