| 同轴磁场对非平衡磁控溅射系统放电特性的影响 |
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| 引用本文： | 牟宗信,李国卿,黄开玉. 同轴磁场对非平衡磁控溅射系统放电特性的影响[J]. 核聚变与等离子体物理, 2004, 24(2): 141-146 |
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| 作者姓名： | 牟宗信 李国卿 黄开玉 |
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| 作者单位： | 大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室,大连,116024;大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室,大连,116024;大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室,大连,116024 |
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| 摘 要： | 采用激励电流可以调整的电磁线圈来激发非平衡磁场，调整约束磁场和放电空间等离子体状态。实验结果表明调整非平衡磁场显著影响系统的放电特性，使放电特性偏离常规的磁控溅射系统放电特性，增强了等离子体的引出效果。在Ar放电的条件下，详细研究了溅射系统的工作伏安特性随不同的工作气体、气压和溅射功率的变化规律。根据蔡尔得公式，讨论了非平衡磁场对于磁控溅射系统中放电特性的影响规律。
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| 关 键 词： | 非平衡磁控溅射系统 薄膜 等离子体 |
| 文章编号： | 0254-6086(2004)02-0141-06 |
Study of the discharge characteristic of an unbalanced magnetron sputtering system with an axial solenoid |
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| MU Zong-xin,LI Guo-qing,HUANG Kai-yu Electron Beams,Dalian University of Technology,Dalian ). Study of the discharge characteristic of an unbalanced magnetron sputtering system with an axial solenoid[J]. Nuclear Fusion and Plasma Physics, 2004, 24(2): 141-146 |
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| Authors: | MU Zong-xin LI Guo-qing HUANG Kai-yu Electron Beams Dalian University of Technology Dalian ) |
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| Affiliation: | MU Zong-xin,LI Guo-qing,HUANG Kai-yu Electron Beams,Dalian University of Technology,Dalian 116024) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Unbalanced magnetron sputtering system Film Plasma |
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