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金刚石薄膜场发射进展
引用本文:
黄庆安,秦明.金刚石薄膜场发射进展[J].物理,1997,26(7):414-417.
作者姓名:
黄庆安
秦明
作者单位:
东南大学微电子中心
摘 要:
评述了国际上金刚石薄膜场发射的研究进展和存在的问题,主要包括金刚石薄膜场发射现象,场发射的可能机制和改善场发射的措施。
关 键 词:
金刚石
场发射
真空微电子学
薄膜
阴极材料
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