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光对ZnO薄膜电致电阻转变效应的调控研究
引用本文:孟建光,尚杰,薛武红,刘宜伟,王军,陈斌.光对ZnO薄膜电致电阻转变效应的调控研究[J].宁波大学学报(理工版),2014(3).
作者姓名:孟建光  尚杰  薛武红  刘宜伟  王军  陈斌
作者单位:宁波大学理学院;中国科学院宁波材料技术与工程研究所;
基金项目:浙江省自然科学基金(Y4090498)
摘    要:利用磁控溅射技术在镀铂硅片上制备ZnO薄膜,X射线衍射测试表明ZnO薄膜为纯相结构,原子力显微镜测试显示ZnO薄膜表面平整均匀,均方根粗糙度为1.87nm.在室温下对Au/ZnO/Pt三明治结构的电输运行为进行了研究,结果表明同时存在电致电阻转变效应和光伏效应,并且光照可调控电致电阻.当光强为360μW·cm-2时,电阻调控幅度达78%,这种光调控的电致电阻转变有助于实现多态存储,提高存储密度.

关 键 词:ZnO薄膜  光伏  电致电阻转变  多态存储  电输运
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