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高Tc超导薄膜SrTiO3衬底抛光工艺研究
引用本文:崔树范,麦振洪.高Tc超导薄膜SrTiO3衬底抛光工艺研究[J].低温物理学报,1992,14(2):127-129.
作者姓名:崔树范  麦振洪
作者单位:中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所 北京,100080,北京,100080,北京,100080,北京,100080,北京,100080,北京,100080
摘    要:

关 键 词:超导薄膜  高Tc  衬底  抛光  工艺
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