数字全息显微中相位像差校正技术综述

数字全息显微技术是数字全息技术与显微技术的结合，兼备两种技术的优点，为微纳领域的定量三维测量提供了一种无损、无标记、准确和近实时的测量手段。然而，由于元件缺陷和失调以及环境扰动等原因，会在数字全息显微测量结果中额外引入相位像差。为了获得准确的定量相位测量结果，必须对像差成因和主要成分进行分析，然后补偿和校正像差。这篇综述介绍了数字全息显微成像测量中主要的像差来源和影响，基于实现的方式对现有的像差校正方法进行了综述，并展望了未来像差校正领域的发展方向，为从事数字全息检测研究的研究者提供参考。