白光显微干涉测量曲面样品形貌误差的校正方法 |
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引用本文: | 李赫然,袁群,范筱昕,张佳乐,马剑秋,乔文佑,高志山,郭珍艳,雷李华,傅云霞.白光显微干涉测量曲面样品形貌误差的校正方法[J].应用光学,2024(2):422-429. |
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作者姓名: | 李赫然 袁群 范筱昕 张佳乐 马剑秋 乔文佑 高志山 郭珍艳 雷李华 傅云霞 |
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作者单位: | 1. 南京理工大学电子工程与光电技术学院;2. 江苏省计量科学研究院 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(62175107,62205148);;国家重点研发计划(2022YFF0706302);;上海市自然科学基金(21ZR1483100); |
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摘 要: | 白光显微干涉术在平面阶跃型结构的形貌测量中具有显著优势。但在测量斜率变化的曲面样品时,由于物镜数值孔径的限制,样品表面反射光随着斜率的增大而减弱,干涉信号对比度降低,导致形貌测量结果的误差增大。基于表面传递函数(surface transfer function, STF)计算得到的逆滤波器可用于校正曲面样品的形貌测量误差,但现有方法的逆滤波器增益受限,无法有效提升频谱中的高频信号,对最大可测量斜率的提升有限。针对该问题,提取由白光干涉仪特性参数计算获得的虚拟STF的模作为振幅增益函数,由干涉图傅里叶变换得到的实测STF的相位作为相位补偿函数,形成虚实融合型逆滤波器,据此实现白光干涉仪曲面形貌测量误差的校正。应用该方法校正微球的形貌测量结果,校正后最大可测量斜率从8.09°提升到21.20°,均方根误差从0.545 5μm降低至0.175 9μm,实现了提升曲面样品的最大可测量斜率和减小测量误差的目的,有效提升了仪器针对曲面样品的测量范围。
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关 键 词: | 白光显微干涉仪 表面传递函数 表面形貌测量 误差校正 逆滤波算法 |
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