光栅干涉位移传感器信息解算方法研究

面向光栅干涉式位移传感器信号高精度解算的需求，提出了一种基于椭圆拟合补偿及反正切算法的位移解算改进方法。采用傅里叶变换及标准化椭圆参数拟合法对信号误差估计，通过构建线性误差补偿模型对带误差信号进行正交补偿，结合反正切算法对信号进行线性化处理，实现高精度位移解算读出。Matlab仿真结果表明，该方法对信号正交补偿效果显著，线性化处理算法解算位移最大相对误差小于0.2%。为提高光栅干涉式传感器位移解算精度提供了有效途径和方法。