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| 相位恢复测量长焦距镜面 | |
| 作者姓名： | 丁凌艳 吴宇列 李圣怡 |
| 作者单位： | (国防科学技术大学 机电工程与自动化学院,长沙 410073) |
| 摘 要： | 针对长焦距光学镜面检测中测量光路长,振动干扰较大,不容易用干涉仪进行面形检测的难题,提出了一种基于相位恢复技术的测量方法.该方法用相干点光源照射被测镜,采集一系列焦点附近的衍射光强图像,然后运用相位恢复算法得到镜面面形误差分布.利用衍射光学理论建立了测量模型,并用基于Gerchberg-Saxton算法的迭代算法求解模型.然后仿真验证了光场传播模型的可靠性和测量算法的有效性,并用该方法测量了一块曲率半径8 700 mm,口径145 mm的球面镜.通过对光强图像位置进行优化,并选择适当离焦位置的图像,最终恢复出了镜面面形.相位恢复测量的结果与动态干涉仪测量结果基本一致,并且测量装置简单,对环境要求低. |
| 关 键 词： | 长焦距镜面 面形测量 相位恢复 衍射 |
| 收稿时间： | 2010-02-03 |
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