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| 沉积时间对球状微米金刚石聚晶结构的生长及其场发射特性影响 | |
| 作者姓名： | 高金海 李桢 张武勤 张兵临 |
| 作者单位： | （1 郑州师范学院 物理系,郑州 450044） （2 郑州大学 物理工程学院 材料物理教育部重点实验室,郑州 450052） |
| 基金项目： | 教育部科学技术重点项目（No.205091）资助 |
| 摘 要： | 利用微波等离子体化学气相沉积法,在覆盖金属钛层的陶瓷衬底上,通过改变沉积时间制备出不同结构的类球状微米金刚石聚晶碳膜.通过扫描电子显微镜、喇曼光谱、X射线衍射谱对碳膜进行了分析测试,并研究了不同沉积时间下沉积的类球状微米金刚石聚晶薄膜的场致电子发射特性.结果显示:不同的沉积时间所制备的碳膜形貌有很大变化,场致电子发射的效果也有很大不同,从而得出了场增强因子的降低和导电通道的增长是场发射效果变差的主要原因. |
| 关 键 词： | 微波等离子体化学气相沉积 场致电子发射 类球状微米金刚石聚晶 |
| 收稿时间： | 2011-03-30 |
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