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微波等离子体CVD方法在表面氧化的Cr基体上合成金刚石
引用本文:晓青.微波等离子体CVD方法在表面氧化的Cr基体上合成金刚石[J].等离子体应用技术快报,2000(6):10-11.
作者姓名:晓青
摘    要:

关 键 词:微波等离子体CVD法  表面氧化  铭基  金刚石薄膜
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