| 离子能量筛选器仿真设计 |
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| 引用本文： | 张骏林,苏俊宏,郭亮,李建超,万文博.离子能量筛选器仿真设计[J].光学与光电技术,2022,20(1):108-114. |
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| 作者姓名： | 张骏林 苏俊宏 郭亮 李建超 万文博 |
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| 作者单位： | 西安工业大学光电工程学院,陕西西安710021,北方光电集团有限公司,陕西西安710065 |
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| 基金项目： | 陕西省重点研发计划资助项目 |
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| 摘 要： | 离子源作为一种离子束发射装置,常用于光学薄膜的制备中,但离子束中包含各种能量的离子,在光学薄膜制备过程中严重影响着薄膜成型后的微观结构和性能.针对目前国内外离子源普遍存在输出能谱过宽的缺点,以电磁场理论为基础,并对各能级的离子运动轨迹进行了仿真分析,设计了一种离子能量筛选器,仿真结果表明,经过筛选器筛选后能有效剔除过高...
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| 关 键 词： | 离子源 离子能量 筛选器 离子束辅助沉积 有限元仿真 |
Simulation Design of Ion Energy Filter |
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| ZHANG Jun-lin,SU Jun-hong,GUO Liang,LI Jian-chao,WAN Wen-bo.Simulation Design of Ion Energy Filter[J].optics&optoelectronic technology,2022,20(1):108-114. |
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| Authors: | ZHANG Jun-lin SU Jun-hong GUO Liang LI Jian-chao WAN Wen-bo |
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