| 2.5D空间光滤波器设计与制备 |
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| 引用本文： | 李攀,郑盼盼,卢宏.2.5D空间光滤波器设计与制备[J].光学技术,2022,48(2):144-146. |
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| 作者姓名： | 李攀 郑盼盼 卢宏 |
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| 作者单位： | 华中科技大学武汉光电国家研究中心,湖北武汉430074 |
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| 摘 要： | 纯相位迭代全息图可以用来设计空间光滤波器.由于介质与空气存在折射率差,空间光在经过全息干板时,会产生相位变化.文章以每个像素光刻胶的高度调制相位,设计出了 2.5D灰度全息空间光滤波器.文章还利用电子束光刻机进行灰度曝光,制备不同高度的光刻胶,通过干法刻蚀将图案刻蚀到硅片上.对电子束曝光工艺、显影参数、刻蚀工艺等进行了...
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| 关 键 词： | 全息光学 灰度曝光 空间光滤波器 |
2.5D Grayscale lithography hologram design and fabrication |
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| LI Pan,ZHENG Panpan,LU Hong.2.5D Grayscale lithography hologram design and fabrication[J].Optical Technique,2022,48(2):144-146. |
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| Authors: | LI Pan ZHENG Panpan LU Hong |
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