温度对Fizeau干涉仪测量重复性的影响 |
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引用本文: | 苗二龙,谷勇强.温度对Fizeau干涉仪测量重复性的影响[J].光学学报,2011(12):139-143. |
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作者姓名: | 苗二龙 谷勇强 |
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摘 要: | 高精度的重复性是保证检测精度的前提,也是精密检测中最重要的指标之一.在Fizeau干涉仪中,干涉腔对环境特别是温度的变化非常敏感,温度的变化和非均匀性是测量的主要误差来源,也是影响测量重复性的主要因素之一.通过研究光在空气中的传播原理,利用Edlen公式建立了Fizeau干涉仪干涉腔的理论模型,并给出了腔长、温度变化大...
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关 键 词: | 测量 Fizeau干涉仪 干涉腔 Edlen公式 重复精度 |
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