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| 垂直耦合结构纳米微环谐振器工艺失准分析 | |
| 引用本文： | 乐孜纯,李锐,胡劲华,董文.垂直耦合结构纳米微环谐振器工艺失准分析[J].光学学报,2011(12):144-150. |
| 作者姓名： | 乐孜纯 李锐 胡劲华 董文 |
| 摘 要： | 垂直耦合结构纳米微环谐振器是光子集成电路的重要组成单元.主要研究了与其实际制作相关的工艺失准问题.针对高折射率差波导材料垂直耦合结构纳米微环谐振器,先用耦合模理论解析方法研究了耦合系数与直波导和微环波导耦合层厚度d以及横向偏移量△之间的关系,为三维时域有限差分法(3D-FDTD)的精确数值计算确定了模拟范围.之后结合解... |
| 关 键 词： | 集成光学 微环谐振器 垂直耦合 工艺容差 耦合模理论 时域有限差分法 |