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| 用射频溅射设备制备超导铌膜 | |
| 作者姓名： | 徐凤枝 杨沛然 陈烈 曾佩韦 邹鹏程 邱尚湧 |
| 作者单位： | 中国科学院物理研究所(徐凤枝，杨沛然，陈烈)，长春地质学院(曾佩韦，邹鹏程)，长春地质学院(邱尚湧) |
| 摘 要： | 本文详细地介绍了在高真空射频溅射镀膜机上制备超导铌膜的方法.由于采用了衬底加热、长时间预溅射、扩散泵口加液氮冷阱、提纯氩气等方法,制出的厚铌膜T_c为9.1K,接近大块铌材的T_c值.不加任何保护的铌膜可长时间放置在大气中,性能基本不变. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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