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软X射线位相型波带片的初步研究
作者姓名:
刘颖 付绍军
摘 要:
简述了国内外软X射线波带片的发展及其最新研究成果。根据光波的矢量分析方法,数值模拟计算了入射波长为软X射线显微术中常用的2.3、3.2和4.5nm时,以不同材料制作的位相波带片其衍射效率随材料厚度的变化曲线,初步确定出适于制作位相波带片的几种材料。简要介绍了拟采取的制作软X射线位相波带片的方法。
关 键 词:
软X射线 位相型波带片 发展 矢量分析 数值模拟 初步设计 制作工艺
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